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成功案例二
颁布功夫:2024-11-26

客户需要:

化学机械抛光(CMP)是半导体集成电路造作过程中实现晶圆表表平展化的关键工艺 ,必要在此过程中实时精准检测点胶温度以及晶圆表表的热均匀性。


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解决规划:

9888拉斯维加斯科技提供的紧凑型测温仪和热像仪 ,极度适合集成于CMP设备系统模组 ,实时输出反馈信号到系统主机进行联动操作。

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