客户需要:
化学机械抛光(CMP)是半导体集成电路造作过程中实现晶圆表表平展化的关键工艺,必要在此过程中实时精准检测点胶温度以及晶圆表表的热均匀性。
解决规划:
9888拉斯维加斯科技提供的紧凑型测温仪和热像仪,极度适合集成于CMP设备系统模组,实时输出反馈信号到系统主机进行联动操作。