
客户需要:
a.主炉室观察窗口:检测坩埚内硅液、固液交代处、固体硅棒的温度及散布;b.通过侧面窗口, 检测炉内石墨加热器温度(1420℃) 并反馈信号节造加热功率。

解决规划:
在长晶过程中,晶体炉内温度场的曲直对晶硅制品率至关沉要,9888拉斯维加斯科技短波红表热像仪直接透过石英玻璃窗口,实时不变地监测炉内硅液、固液交代面、固态硅棒等多种状态温度情况及其散布,确保晶硅的高质量成长。
另表通过节造石墨加热器的功率能够调节扭转晶体炉内的温度场, 丽江欧普士耐高温光纤红表测温仪实时检测加热器温度并反馈输出信号对功率加以节造, 从而形成最优化的晶硅成长热场环境。